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日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)
簡要描述：

日本ULVAC愛發(fā)科NLD-570半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)

  • 產(chǎn)品型號：NLD-570
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-11-25
  • 訪  問  量：166

詳細(xì)介紹

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)


NLD干法刻蝕設(shè)備研發(fā)NLD-570

研發(fā)用NLD干法蝕刻 NLD-570是ULVAC原創(chuàng)開發(fā)的使用磁中性線等離子體（NLD）的低壓、低電子溫度、高密度等離子體的干法蝕刻裝置。


特征

  • 與ICP法相比，NLD具有更低的壓力、更高的密度和更低的電子溫度等離子，因此適合加工石英、玻璃、晶體、LN、LT基板等。

  • 耐熱玻璃和硼硅酸鹽玻璃等雜質(zhì)較多的玻璃可以蝕刻出優(yōu)異的形狀和表面光滑度。

  • 厚膜抗蝕劑還可用作石英和玻璃深蝕刻（100μm以上）的掩模。

  • 可進(jìn)行高速蝕刻（石英>1μm/min、Pyrex>0.8μm/min）

  • 可以添加盒室。

目的

  • 光學(xué)器件（衍射光柵、調(diào)制器、光波導(dǎo)、光開關(guān)等）、凹凸微透鏡、光子晶體、流體路徑（μ-TAS）創(chuàng)建等。


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