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當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > ULVAC愛發(fā)科 > 愛發(fā)科真空泵 > HR60/HR90/HR300/HR600日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
產(chǎn)品型號：HR60/HR90/HR300/HR600廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-11-25訪 問 量：141
產(chǎn)品分類
CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵
可以將在高溫區(qū)域的均熱CVD、蝕刻等中產(chǎn)生的升華廢氣以氣態(tài)排出。
UR系列可以達(dá)到比HR系列更高的溫度。
配備氦氣密閉電機(jī)，密封結(jié)構(gòu)，安全性高。
瞬時停電對策
我們采取了防止1000毫秒內(nèi)瞬時停電的措施。
優(yōu)異的耐腐蝕性
主要部件標(biāo)準(zhǔn)采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。當(dāng)腐蝕性氣體排出時，減少泵內(nèi)部的腐蝕。
通訊功能
可以讀取有關(guān)泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件并與計算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。
CVD 裝置
蝕刻設(shè)備
灰化裝置
酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等
| 模型 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | ||||
| 使用泵 | 決策支持系統(tǒng) | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
| 甲基丙烯酸甲酯 | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | ||||
| 最大 抽速 | 50赫茲 | 立方米/小時（升/ 分鐘） | 62（1030） | 112（1860年） | 359（5,980） | 653(10,900) | 1,012(16,900) | ||
| 60赫茲 | 立方米/小時（升/ 分鐘） | 80（1333） | 126（2100） | 365（6,080） | 701（11,700） | 1,051(17,500) | |||
| 到達(dá)圧力 | 出色地 | 5 | 0.67 | ||||||
| 最大入口壓力 （吸入壓力） | 大氣壓*1 | ||||||||
| 最大排氣口壓力 （排出壓力） | 出色地 | 1~大氣壓 | |||||||
| 進(jìn)氣口（CE規(guī)格） | VG50(KF50) | VG80 (KF50) | VG80 (KF80) | VG100(KF100) | |||||
| 排氣口 | KF40 | ||||||||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
| 電力 | 三相 | 交流電壓(赫茲) | 200(50/60), 220(60) | ||||||
| 當(dāng)前值 | 穩(wěn)定狀態(tài) | 一個 | 7.1 (200V時) | 11.2 (200V時) | 7.8 (200V時) | 12.9 (200V時) | 15.4 (200V時) | ||
| 最大值 | 一個 | 7.3 (200V時) | 11.8 (200V時) | 8.1 (200V時) | 13.8 (200V時) | 18.9 (200V時) | |||
| 冷卻水暫壓 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||||
| 冷卻水進(jìn)出水壓差 | 兆帕 | >0.1 | |||||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | |||||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||||
| 氮?dú)?/span>吹掃 | 軸 | 空間光調(diào)制器 | 5 | ||||||
| 加斯巴拉 | 空間光調(diào)制器 | 0~45 | |||||||
*1 對于 HR300、HR600 和 HR1200，請勿在吸入壓力 200Pa 或更高的情況下連續(xù)運(yùn)行。
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