HORIBA堀場寬范圍壓不敏感質(zhì)量流量模塊

HORIBA堀場寬范圍壓不敏感質(zhì)量流量模塊

D700WR 安裝了一個(gè)新的限流器，專為大范圍控制應(yīng)用而設(shè)計(jì)，具有基于 CRITERION™ 技術(shù)的高精度性能。D700WR 可以將流量控制在滿量程的 0.1% 以下，這有助于用戶優(yōu)化氣體輸送系統(tǒng)的靈活性。例如，如果系統(tǒng)安裝了多個(gè) MFC 進(jìn)行高流量和低流量控制，則用戶可以減少 MFC 的數(shù)量，并將同一位置的另一個(gè) MFC 用于不同的目的。

• 0.1~100%寬范圍控制和低流量的高精度

• 為流程優(yōu)化提供靈活性

• ≤ 500ms 升壓響應(yīng)

• 提供高生產(chǎn)率和更好的過程性能

• 堅(jiān)固的 CIP 壓力傳感器

• 減少大批量生產(chǎn)中的停機(jī)時(shí)間和人工成本

• PFA 噴嘴的閥門關(guān)閉和抗腐蝕性提高 10 倍

• 堅(jiān)固耐用，顆粒風(fēng)險(xiǎn)更低，減少停機(jī)時(shí)間并優(yōu)化產(chǎn)量

• 狀態(tài)監(jiān)控器功能

• 提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)更智能的故障預(yù)測