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玉崎科學(xué)ONYX 3200半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具 玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具 內(nèi)聯(lián)雙頭微點(diǎn) XRF 無損晶圓檢測和計(jì)量 雙 X 射線源（多毛細(xì)管/單色）， 適用于最大 300 mm 的晶圓

玉崎科學(xué)ONYX 3000半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具 玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku光學(xué)工具 混合 XRF 和光學(xué)計(jì)量 FAB 工具 能量色散X射線熒光光譜儀（ED-XRF），能夠以無損、非接觸的方式同時(shí)分析300mm和200mm晶圓上各種薄膜的厚度和成分。